|
|
Журнал технической физики, 1986, том 56, выпуск 5, страницы 981–983
(Mi jtf212)
|
|
|
|
Краткие сообщения
Образование дисилицида титана при секундной термообработке пленок
титана на кремнии
В. Е. Борисенко, Д. И. Заровский, В. А. Лабунов, А. Н. Ларсен Минский радиотехнический институт
Поступила в редакцию: 29.07.1985
Образец цитирования:
В. Е. Борисенко, Д. И. Заровский, В. А. Лабунов, А. Н. Ларсен, “Образование дисилицида титана при секундной термообработке пленок
титана на кремнии”, ЖТФ, 56:5 (1986), 981–983
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jtf212 https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v56/i5/p981
|
|