Рентгеноструктурные исследования текстурированных пленок окиси цинка для устройств на поверхностных акустических волнах

Проведено рентгеноструктурное исследование текстурированных пленок окиси цинка, полученных реактивным триодным распылением на постоянном токе. Показано, что при температурах подложек до 623 K, 20%-ном содержании кислорода в аргон-кислородной распылительной смеси и давлении 0.066 Па осаждение пленок ZnO происходит с отклонением от стехиометрии при дефиците кислорода, что явилось причиной наблюдаемых в пленках механических напряжений. Увеличение давления до 0.13 Па и содержания кислорода в распылительной смеси до 50% дало возможность получить пленки ZnO стехиометрического состава в процессе осаждения. Исследована возможность увеличения скорости осаждения, «нормально» ориентированных пленок за счет уменьшения расстояния мишень–держатель подложек и электрического поля, возникающего в поверхностном слое подложки из плавленного кварца при ее предварительном облучении ионизирующим $\gamma$-излучением.