Механизм формирования пространственной структуры высокочастотного емкостного разряда

Исследуются физические процессы, определяющие наблюдаемую на опыте структуру слаботочной формы высокочастотного емкостного разряда (ВЧЕР), т. е. разряда, в котором влиянием ионизации на баланс заряженных частиц в приэлектродных областях пространственного заряда (ПСПЗ) можно пренебречь. Показано, что помимо уравнивания числа электронов и ионов, выпадающих на каждый электрод за период ВЧ поля в стационарном ВЧЕР, есть другая не менее важная функция ПСПЗ, заключающаяся в стабилизации плазменного столба ВЧЕР с падающей вольт-амперной характеристикой, что, собственно, и приводит к эффекту нормальной плотности тока в таком типе разряда, зависимости величины нормальной плотности тока $j_{\text{н}}$ от давления газа $p$ и величины межэлектродного зазора $d$, ограничению области существования слаботочного ВЧЕР по $p$ и $d$.