Исследования процесса электростимулированного роста кристаллов в системе металл–аморфный оксид–электролит методом вторично-ионной масс-спектрометрии

Методом вторично-ионной масс-спектрометрии определены профили распределения элементов по толщине аморфных и кристаллических областей оксида тантала, подвергнутого в контакте с электролитом длительному электротепловому нагружению, С использованием изотопа О$^{18}$ показано, что источником кислорода в процессе электростимулированного роста кристаллов в системе металл–аморфный оксид–электролит является электролит. На основании анализа распределения примесей установлено, что на образование кристаллической фазы вещество исходного аморфного оксида не расходуется. Указаны основные факторы, определяющие стабильность структуры и свойств аморфных диэлектрических материалов и технических устройств на их основе.