|
|
Журнал технической физики, 1988, том 58, выпуск 2, страницы 424–428
(Mi jtf2764)
|
|
|
|
Краткие сообщения
Распределение напыленного металла по поверхности анода
при катодном распылении в разряде с осциллирующими электронами
Г. В. Смирницкая, Е. В. Яхшиева
Образец цитирования:
Г. В. Смирницкая, Е. В. Яхшиева, “Распределение напыленного металла по поверхности анода
при катодном распылении в разряде с осциллирующими электронами”, ЖТФ, 58:2 (1988), 424–428
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jtf2764 https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v58/i2/p424
|
|