Анодная область слаботочного тлеющего разряда низкого давления в неоне

Рассмотрена двумерно-неоднородная анодная область тлеющего разряда в условиях нелокальности функции распределения электронов. Экспериментально исследованы пространственные распределения электронов по энергии, а также потенциала электрического поля и свечения различных линий вблизи анода. Рассмотрено формирование слоя объемного заряда в пролетном и столкновительном режиме и распределение параметров прианодной плазмы при заданном профиле потенциала. Разработанная кинетическая теория позволяет объяснить тонкие кинетические эффекты, наблюдаемые в эксперименте.