|
|
Журнал технической физики, 1988, том 58, выпуск 11, страницы 2063–2068
(Mi jtf3090)
|
|
|
|
Теоретическая и математическая физика
Критерии и принципы оптимизации концентрирующих электронно-оптических
систем
С. П. Събчевски, Г. М. Младенов
Аннотация:
Получены формулы, отражающие зависимость конфигурации
активной зоны электронного пучка от его характеристической длины.
Предложено в качестве критерия (наряду с известными) при проектировании
и оптимизации концентрирующих электронно-оптических систем для
электронно-лучевых технологических процессов использовать характеристическую
длину, при которой получается подходящая (для конкретного процесса)
конфигурация активной зоны. Предложен подход
к проектированию и оптимизации таких систем.
Образец цитирования:
С. П. Събчевски, Г. М. Младенов, “Критерии и принципы оптимизации концентрирующих электронно-оптических
систем”, ЖТФ, 58:11 (1988), 2063–2068
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jtf3090 https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v58/i11/p2063
|
|