Неупругие потери энергии при бомбардировке поверхности твердого тела ионами и вызываемая ими электронная эмиссия

На основе видоизмененной модели О. Б. Фирсова выводится формула для неупруго переданной энергии при парных атомных столкновениях, отличающаяся от прежних аналогичных формул выражением для электронного потока через поверхность, разделяющую сталкивающиеся атомы, и более строгим учетом формы и положения этой поверхности. Производится сравнение с экспериментальными данными по торможению ионов, простреливающих тонкие монокристаллические и поликристаллические пленки. Вычисляется коэффициент кинетической электронной эмиссии, вызванной ионами, прошедшими монокристаллическую кремниевую пленку насквозь.