Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Журнал технической физики, 1991, том 61, выпуск 3, страницы 53–58 (Mi jtf4188)  
Газовый разряд, плазма

Исследование комплексного сопротивления емкостного ВЧ разряда с внешними электродами

А. В. Калмыков, А. С. Смирнов, А. Ю. Уставщиков
PDF полного текста (645 kB)
Аннотация: Экспериментально исследованы характеристики емкостного ВЧ разряда в диапазоне частот 80$-$90 МГц. Показано, что слои разряда в $\alpha$-режиме могут описываться эквивалентным конденсатором. Получена связь между емкостью такого конденсатора и физическими параметрами слоя. Произведено сравнение с имеющимися моделями, свидетельствующее об удовлетворительном соответствии.
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: А. В. Калмыков, А. С. Смирнов, А. Ю. Уставщиков, “Исследование комплексного сопротивления емкостного ВЧ разряда с внешними электродами”, ЖТФ, 61:3 (1991), 53–58
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{1}
\by А.~В.~Калмыков, А.~С.~Смирнов, А.~Ю.~Уставщиков
\paper Исследование комплексного сопротивления емкостного ВЧ разряда
с~внешними электродами
\jour ЖТФ
\yr 1991
\vol 61
\issue 3
\pages 53--58
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/jtf4188}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf4188
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v61/i3/p53
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Журнал технической физики Журнал технической физики
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025