Приэлектродные слои в самостоятельном ВЧ разряде среднего и высокого давления

На основании усредненного уравнения движения ионов анализируются приэлектродные слои самостоятельного ВЧ разряда при средних и высоких давлениях, когда движение заряженных частиц определяется их подвижностями, а энергия — локальным мгновенным значением электрического поля. Получены приближенные выражения для концентрации ионов и толщины слоя в $\alpha$- и $\gamma$-режимах горения разряда. Рассчитана вольт-амперная характеристика приэлектродных слоев в широком диапазоне плотностей тока. Полученные характеристики слоев сравниваются с результатами численных расчетов и имеющимися экспериментальными данными.