|
|
Журнал технической физики, 1991, том 61, выпуск 10, страницы 162–168
(Mi jtf4452)
|
|
|
|
Электронные и ионные пучки, ускорители
Хроматическая аберрация зондоформирующих систем микрозондовых
ионно-лучевых установок (ИЛУ)
М. И. Виноградов
Аннотация:
Рассмотрена хроматическая аберрация в одно-
и двухлинзовых зондоформирующих
системах ионно-лучевых установок. Приведены
простые выражения для их оптимизации
при размерах ионного зонда менее 0.2$-$0.3 мкм.
Образец цитирования:
М. И. Виноградов, “Хроматическая аберрация зондоформирующих систем микрозондовых
ионно-лучевых установок (ИЛУ)”, ЖТФ, 61:10 (1991), 162–168
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jtf4452 https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v61/i10/p162
|
|