|
|
Журнал технической физики, 1991, том 61, выпуск 10, страницы 184–186
(Mi jtf4457)
|
|
|
|
Краткие сообщения
Образование новой фазы при внедрении ионов молекулярного и атомарного
азота в кремний
Е. Я. Черняк
Образец цитирования:
Е. Я. Черняк, “Образование новой фазы при внедрении ионов молекулярного и атомарного
азота в кремний”, ЖТФ, 61:10 (1991), 184–186
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jtf4457 https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v61/i10/p184
|
|