Использование асимметричных съемок в плосковолновой рентгеновской топографии для исследования микродефектов в кристаллах кремния

Экспериментально показано повышение чувствительности метода плосковолновой рентгеновской топографии при съемке микродефектов в кристаллах кремния с использованием асимметричных отражений в геометрии Лауэ и Брэгга. Исследованы возможности метода в зависимости от степени асимметричности отражений. Обсуждаются причины, которые могут приводить к повышению чувствительности метода, главными из которых являются уменьшение длины экстинкции и релаксация полей деформации, создаваемых микродефектами, на поверхности образца.