Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Журнал технической физики, 2021, том 91, выпуск 10, страницы 1588–1596
DOI: https://doi.org/10.21883/JTF.2021.10.51375.95-21 (Mi jtf4931) 		 
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)

XXV Международный симпозиум Нанофизика и наноэлектроника, Н. Новгород, 9--12 марта 2021 г.
Физические приборы и методы эксперимента

Применение нанопорошков окиси церия для полировки кремния

Н. И. Чхалоa, А. А. Ахсахалянa, Ю. А. Вайнерa, М. В. Зоринаa, А. Е. Пестовa, М. В. Свечниковa, М. Н. Тороповa, N. Kumara, Ю. М. Токуновb

a Институт физики микроструктур РАН, г. Нижний Новгород
b Московский физико-технический институт (национальный исследовательский университет), Московская облаcть, г. Долгопрудный
PDF полного текста (2217 kB) Список цитирования (1)
DOI: https://doi.org/10.21883/JTF.2021.10.51375.95-21
Аннотация: Описаны методы исследований и первые результаты, полученные при изучении шероховатости подложек из монокристаллического кремния (111), обработанных на финальной стадии различными способами: традиционная полировка без использования химико-механической полировки (ХМП), с использованием ХМП и без ХМП, но с применением нанопорошков окиси церия. Продемонстрирована эффективность использования нанопорошков CeO$_{2}$. Были получены следующие значения эффективной шероховатости: без ХМП – 3.56 nm, с ХМП – 0.54 nm и без ХМП, но с полировкой CeO$_{2}$ – 0.93 nm.
Ключевые слова: поверхность, шероховатость, рентгеновская оптика, глубокая шлифовка-полировка.
Финансовая поддержка Номер гранта
Российский научный фонд 21-72-20108
Работа выполнена при поддержке РНФ, Соглашение № 21-72-20108.
Поступила в редакцию: 02.04.2021
Исправленный вариант: 02.04.2021
Принята в печать: 02.04.2021
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: Н. И. Чхало, А. А. Ахсахалян, Ю. А. Вайнер, М. В. Зорина, А. Е. Пестов, М. В. Свечников, М. Н. Торопов, N. Kumar, Ю. М. Токунов, “Применение нанопорошков окиси церия для полировки кремния”, ЖТФ, 91:10 (2021), 1588–1596
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{ChkAkhVai21}
\by Н.~И.~Чхало, А.~А.~Ахсахалян, Ю.~А.~Вайнер, М.~В.~Зорина, А.~Е.~Пестов, М.~В.~Свечников, М.~Н.~Торопов, N.~Kumar, Ю.~М.~Токунов
\paper Применение нанопорошков окиси церия для полировки кремния
\jour ЖТФ
\yr 2021
\vol 91
\issue 10
\pages 1588--1596
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/jtf4931}
\crossref{https://doi.org/10.21883/JTF.2021.10.51375.95-21}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=46491216}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf4931
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v91/i10/p1588
    • Эта публикация цитируется в следующих 1 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Журнал технической физики Журнал технической физики
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025