Сглаживающий эффект Si-слоев в многослойных зеркалах Be/Al для спектрального диапазона 17–31 nm

Представлены результаты исследования сглаживающего эффекта тонких пленок Si, примененных в качестве буферных слоев в многослойных зеркалах Be/Al, оптимизированных для работы на длинах волн больше 17.1 nm. Исследованы многослойные зеркала околонормального (угол скольжения 88$^\circ$) и скользящего падения (угол скольжения 33.5$^\circ$). Показано, что эффект наблюдался для многослойных зеркал Be/Si/Al с периодами, по крайней мере, до 29 nm. Для зеркал нормального падения, оптимизированных на длину волны 17.14 nm, получен рекордный пиковый коэффициент отражения 62.5% при спектральной селективности $\lambda/\Delta\lambda$ = 59. Исследована временная стабильность данных зеркал.