|
Физическая электроника
Электроды вакуумной камеры под действием дуги в зоне взрывного плавления
А. И. Кудюкин, М. Н. Махмудов, Е. Н. Моос, В. А. Степанов Рязанский государственный университет имени С. А. Есенина
Аннотация:
Сплавные системы Cu(60%)–Cr(40%) после многократного воздействия дугового вакуумного разряда обнаруживают изменение атомной концентрации меди (с 53.7 до 71.8 at.%) и соответственно хрома. Масс-спектрометрия показала наличие в остаточной атмосфере диффузионных приборов фрагментов молекул типа C$_{x}$H$_{y}^{+}$ и молекул, десорбируемых со всех деталей камеры, ионы остаточного газа (CO$_{2}^{+}$, H$_{2}$O$^{+}$, N$_{2}^{+}$, N$^{+}$ и их полиатомные композиции). Обнаружено наследование технологических примесей от предшествующих операций в масс-спектре.
Ключевые слова:
вакуум, технологии, дугогасительная камера, масс-спектр, дуга, электроды, эрозия.
Поступила в редакцию: 11.12.2019 Исправленный вариант: 11.12.2019 Принята в печать: 27.01.2020
Образец цитирования:
А. И. Кудюкин, М. Н. Махмудов, Е. Н. Моос, В. А. Степанов, “Электроды вакуумной камеры под действием дуги в зоне взрывного плавления”, ЖТФ, 90:7 (2020), 1209–1212; Tech. Phys., 65:7 (2020), 1163–1166
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jtf5268 https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v90/i7/p1209
|
|