Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Журнал технической физики, 2019, том 89, выпуск 6, страницы 952–957
DOI: https://doi.org/10.21883/JTF.2019.06.47646.274-18 (Mi jtf5602) 		 
Физическая электроника

Туннельная эмиссия электронов из наноструктурированных кремниевых катодных матриц с фтор-углеродным покрытием

Р. К. Яфаров

Саратовский филиал Института радиотехники и электроники им. В. А. Котельникова РАН
PDF полного текста (271 kB)
DOI: https://doi.org/10.21883/JTF.2019.06.47646.274-18
Аннотация: Исследованы закономерности изменений морфологических и автоэмиссионных характеристик поверхностно структурированных кремниевых пластин различных типов проводимости, полученных с использованием травления во фторуглеродной плазме и осаждения субнаноразмерных островковых углеродных масочных покрытий. Показано, что поверхностное структурирование с применением фторуглеродной плазмы позволяет получать заданные токи автоэмиссии при различных напряженностях внешних электрических полей. Рассмотрены физико-химические модели механизмов автоэмиссии и разрушения поверхностно модифицированных многоострийных кремниевых катодных матриц.
Финансовая поддержка Номер гранта
Российский научный фонд 16-19-10033
Исследование выполнено за счет гранта Российского научного фонда (проект № 16-19-10033).
Поступила в редакцию: 14.07.2018
Исправленный вариант: 01.11.2018
Принята в печать: 01.11.2018
Англоязычная версия:
Technical Physics, 2019, Volume 64, Issue 6, Pages 897–901
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063784219060240
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: Р. К. Яфаров, “Туннельная эмиссия электронов из наноструктурированных кремниевых катодных матриц с фтор-углеродным покрытием”, ЖТФ, 89:6 (2019), 952–957; Tech. Phys., 64:6 (2019), 897–901
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{Yaf19}
\by Р.~К.~Яфаров
\paper Туннельная эмиссия электронов из наноструктурированных кремниевых катодных матриц с фтор-углеродным покрытием
\jour ЖТФ
\yr 2019
\vol 89
\issue 6
\pages 952--957
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/jtf5602}
\crossref{https://doi.org/10.21883/JTF.2019.06.47646.274-18}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=39133847}
\transl
\jour Tech. Phys.
\yr 2019
\vol 64
\issue 6
\pages 897--901
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063784219060240}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf5602
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v89/i6/p952
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Журнал технической физики Журнал технической физики
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025