Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Журнал технической физики, 2019, том 89, выпуск 4, страницы 620–626
DOI: https://doi.org/10.21883/JTF.2019.04.47323.165-18 (Mi jtf5653) 		 
Эта публикация цитируется в 3 научных статьях (всего в 3 статьях)

Физическая электроника

Модель термического окисления кремния

А. В. Фадеевa, Ю. Н. Девяткоb

a Физико-технологический институт РАН, г. Москва
b Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ", г. Москва
PDF полного текста (148 kB) Список цитирования (3)
DOI: https://doi.org/10.21883/JTF.2019.04.47323.165-18
Аннотация: Миниатюризация и увеличение скорости работы электронных приборов требует получения диэлектрических пленок оксида кремния нанометровой толщины. Для создания таких структур необходимо понимание процесса начального окисления кремния. Предложена теоретическая модель термического окисления тонких монослоев кремния, учитывающая рост напряжений в переходном слое оксид – подложка по мере накопления в нем кислорода.
Финансовая поддержка Номер гранта
Министерство образования и науки Российской Федерации 0066-2019-0004
Работа выполнена в рамках Государственного задания ФТИАН им. К.А. Валиева РАН Минобрнауки РФ по теме № 0066-2019-0004.
Поступила в редакцию: 26.04.2018
Исправленный вариант: 28.09.2018
Англоязычная версия:
Technical Physics, 2019, Volume 64, Issue 4, Pages 575–581
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063784219040108
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: А. В. Фадеев, Ю. Н. Девятко, “Модель термического окисления кремния”, ЖТФ, 89:4 (2019), 620–626; Tech. Phys., 64:4 (2019), 575–581
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{FadDev19}
\by А.~В.~Фадеев, Ю.~Н.~Девятко
\paper Модель термического окисления кремния
\jour ЖТФ
\yr 2019
\vol 89
\issue 4
\pages 620--626
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/jtf5653}
\crossref{https://doi.org/10.21883/JTF.2019.04.47323.165-18}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=37643966}
\transl
\jour Tech. Phys.
\yr 2019
\vol 64
\issue 4
\pages 575--581
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063784219040108}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf5653
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v89/i4/p620
    • Эта публикация цитируется в следующих 3 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Журнал технической физики Журнал технической физики
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025