Влияние температуры на скорость роста нитевидных нанокристаллов диоксида олова, сформированных методом физического осаждения из парогазовой фазы

Представлены результаты исследований влияния температуры на скорость вертикального роста функциональных наноразмерных структур диоксида олова, сформированных методом физического осаждения из парогазовой фазы. Предложена модель процесса формирования нанокристаллов диоксида олова, которая адекватно описывает экспериментально наблюдаемые закономерности влияния температуры зоны осаждения в исследуемом диапазоне на скорость роста нанокристаллов. Получена аналитическая связь между скоростью роста нитевидного нанокристалла, его геометрическими параметрами, свойствами материала нанокристалла и подложки, технологическими параметрами процесса формирования. Установлено, что скорость роста кристаллов возрастает при увеличении температуры в зоне осаждения, что может быть обусловлено активационным характером процессов нуклеации и транспорта массы прекурсора по поверхности подложки и боковой поверхности нанокристаллов.