Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Журнал технической физики, 2016, том 86, выпуск 1, страницы 61–69 (Mi jtf6656)  
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)

Плазма

Магнетронный источник ускоренного плазменного потока

Л. П. Вересов, О. Л. Вересов

Сухумский физико-технический институт
PDF полного текста (1484 kB) Список цитирования (1)
URL: https://journals.ioffe.ru/jtf/2016/01/page-61.html.ru
Аннотация: Представлен новый источник ускоренного плазменного потока, предназначенный для нанесения качественных покрытий. В нем зажигается комбинация магнетронного разряда для распыления катодной мишени и высоковольтного разряда с продольной осцилляцией электронов для ионизации наработанного пара, плотность плазмы которого распределяется равномерно благодаря применению трехфазного ионизатора.
Поступила в редакцию: 16.02.2015
Исправленный вариант: 15.06.2015
Англоязычная версия:
Technical Physics, 2016, Volume 61, Issue 1, Pages 59–67
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063784216010254
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: Л. П. Вересов, О. Л. Вересов, “Магнетронный источник ускоренного плазменного потока”, ЖТФ, 86:1 (2016), 61–69; Tech. Phys., 61:1 (2016), 59–67
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{VerVer16}
\by Л.~П.~Вересов, О.~Л.~Вересов
\paper Магнетронный источник ускоренного плазменного потока
\jour ЖТФ
\yr 2016
\vol 86
\issue 1
\pages 61--69
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/jtf6656}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=25669129}
\transl
\jour Tech. Phys.
\yr 2016
\vol 61
\issue 1
\pages 59--67
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063784216010254}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf6656
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v86/i1/p61
    • Эта публикация цитируется в следующих 1 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Журнал технической физики Журнал технической физики
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025