Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Журнал технической физики, 2023, том 93, выпуск 2, страницы 271–280
DOI: https://doi.org/10.21883/JTF.2023.02.54503.109-22 (Mi jtf6943) 		 
Физика низкоразмерных структур

Синтез массивов наноструктурированных пористых кремниевых стержней в кремнии электронного типа электропроводности с кристаллографической ориентацией (111)

А. Ю. Гагаринаa, Л. С. Богословскаяa, Ю. М. Спивакa, К. Н. Новиковаb, А. Кузнецовa, В. А. Мошниковa

a Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В. И. Ульянова (Ленина), 197376 Санкт-Петербург, Россия
b Санкт-Петербургский национальный исследовательский академический университет имени Ж. И. Алфёрова Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия
PDF полного текста (5166 kB)
DOI: https://doi.org/10.21883/JTF.2023.02.54503.109-22
Аннотация: Предложен метод модифицированного металл-стимулированного электрохимического травления и получены массивы наноструктурированных пористых кремниевых стержней на подложке монокристаллического кремния $n$-типа с кристаллографической ориентацией (111). Выявлено влияние состава электролита на втором этапе получения на морфологию стержней кремния методами сканирующей электронной микроскопии. Фазовый состав стержней пористого кремния контролировался методами рамановской спектроскопии.
Ключевые слова: пористый кремний, кремниевые наноструктурированные стержни, МАСЕ, наноматериалы, спектроскопия комбинационного рассеяния света.
Поступила в редакцию: 18.04.2022
Исправленный вариант: 30.10.2022
Принята в печать: 31.10.2022
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: А. Ю. Гагарина, Л. С. Богословская, Ю. М. Спивак, К. Н. Новикова, А. Кузнецов, В. А. Мошников, “Синтез массивов наноструктурированных пористых кремниевых стержней в кремнии электронного типа электропроводности с кристаллографической ориентацией (111)”, ЖТФ, 93:2 (2023), 271–280
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{GagBogSpi23}
\by А.~Ю.~Гагарина, Л.~С.~Богословская, Ю.~М.~Спивак, К.~Н.~Новикова, А. Кузнецов, В.~А.~Мошников
\paper Синтез массивов наноструктурированных пористых кремниевых стержней в кремнии электронного типа электропроводности с кристаллографической ориентацией (111)
\jour ЖТФ
\yr 2023
\vol 93
\issue 2
\pages 271--280
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/jtf6943}
\crossref{https://doi.org/10.21883/JTF.2023.02.54503.109-22}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=50361187}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf6943
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v93/i2/p271
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Журнал технической физики Журнал технической физики
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025