Влияние способа подачи газов в камеру на процессы реактивного магнетронного распыления Ti–Al составной мишени

Представлены результаты исследования процессов реактивного магнетронного распыления Ti–Al составной мишени в Ar/O$_2$ смеси газов при различных способах подачи газов в камеру. Установлено, что независимо от способа подачи газов при изменении концентрации кислорода в Ar/O$_2$ смеси газов происходит изменение соотношения содержания Al и Ti в нанесенных пленках Ti$_{1-x}$Al$_x$O$_y$. На основе исследований диэлектрических характеристик нанесенных пленок Ti$_{1-x}$Al$_x$O$_y$ установлено, что при раздельной газоподаче (Ar подается в область мишени, O$_2$ подается в область подложки) в отличие от совместной газоподачи (смесь Ar/O$_2$ рабочих газов подается в область мишени) возможно нанесение диэлектрических пленок в переходном режиме при сравнительно высоких скоростях распыления. При этом подача кислорода в область подложки позволяет увеличить содержание кислорода в пленках до 60–64 at.%.