Абляция кремния в воздухе моно- и бихроматическими импульсами лазерного излучения с длинами волн 355 и 532 nm

Методами оптической и электронной сканирующей микроскопии, спектроскопии комбинационного рассеяния, профилометрии лазерных кратеров, а также видеорегистрации свечения плазменного факела во времени исследована абляция пластин кремния в воздухе при воздействии одиночных и сдвоенных наносекундных импульсов лазерного излучения с длинами волн 355 и 532 nm. Установлена зависимость удельного выноса материала мишени от плотности мощности лазерного излучения и временного интервала между сдвоенными импульсами бихроматического лазерного излучения. Выявлено откольное разрушение кремния в широком диапазоне параметров облучения, и определены характеристики абляционных и откольных кратеров при бихроматическом лазерном воздействии.