Методика исследования изменения формы пластин и тонкопленочных мембран с использованием геоморфометрических подходов

Рассмотрена методика исследования изменения сложного рельефа и формы структур с использованием подходов геоморфометрии для изучения поверхности пластин и сформированных Bosch-процессом мембран. Проанализированы пластины до и после нанесения слоя SiO$_2$, мембраны при реализации метода выдувания. Исследование изменения рельефа поверхности проведено по картам водосборной площади и главных кривизн с учетом артефактов аппроксимации экспериментальных данных. Обнаружено соответствие между распределением линий, соединяющих наивысшие области поверхности – до и после нанесения слоя SiO$_2$ на пластины. На мембранах со структурами Al(0.8 $\mu$m)/SiO$_2$(0.6 $\mu$m)/Al(1.1 $\mu$m), pSi$^*$ (0.8 $\mu$m)/SiN$_x$(0.13 $\mu$m)/SiO$_2$, Al(0.6 $\mu$m) обнаружено, что особенности границы мембран обусловлены в большей степени их начальной формой, чем изменением под действием приложенной нагрузки. Показаны преимущества методов геоморфометрии для исследования изменения формы пластин и тонкопленочных мембран в технологических процессах производства микроэлектронных приборов по сравнению с традиционными методами анализа карт рельефа поверхности.