Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Журнал технической физики, 2022, том 92, выпуск 8, страницы 1172–1178
DOI: https://doi.org/10.21883/JTF.2022.08.52779.68-22 (Mi jtf7412) 		 
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)

XXVI Международный симпозиум " Нанофизика и наноэлектроника" , Н. Новгород, 14-17 марта 2022 г.
Физика низкоразмерных структур

Формирование неоднородных оксидных и субоксидных слоев на ультратонкой металлической пленке при многократном окислении и ионном распылении

А. В. Лубенченкоa, Д. А. Ивановa, О. И. Лубенченкоa, А. Б. Паволоцкийb, Д. С. Лукьянцевa, В. А. Ячукa, О. Н. Павловa

a НИУ Московский энергетический институт, 111250 Москва, Россия
b Chalmers University of Technology, 41296 Göteborg, Sweden
PDF полного текста (294 kB) Список цитирования (1)
DOI: https://doi.org/10.21883/JTF.2022.08.52779.68-22
Аннотация: Представлена технология контролируемого формирования многослойных оксидных и субоксидных слоев на тонкой металлической пленке. Продемонстрирована возможность контролируемого создания пленок с ультратонким субоксидным слоем внутри слоя высшего оксида и пленок, представляющих собой периодическую структуру с чередованием оксидных слоев с разной степенью окисления. Получена структура с чередованием ультратонких слоев из высшего оксида и субоксидных слоев на ниобиевой пленке.
Ключевые слова: металл-оксидные пленки, контролируемое формирование пленок, послойный химический и фазовый анализ, рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия.
Поступила в редакцию: 30.03.2022
Исправленный вариант: 30.03.2022
Принята в печать: 30.03.2022
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: А. В. Лубенченко, Д. А. Иванов, О. И. Лубенченко, А. Б. Паволоцкий, Д. С. Лукьянцев, В. А. Ячук, О. Н. Павлов, “Формирование неоднородных оксидных и субоксидных слоев на ультратонкой металлической пленке при многократном окислении и ионном распылении”, ЖТФ, 92:8 (2022), 1172–1178
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{LubIvaLub22}
\by А.~В.~Лубенченко, Д.~А.~Иванов, О.~И.~Лубенченко, А.~Б.~Паволоцкий, Д.~С.~Лукьянцев, В.~А.~Ячук, О.~Н.~Павлов
\paper Формирование неоднородных оксидных и субоксидных слоев на ультратонкой металлической пленке при многократном окислении и ионном распылении
\jour ЖТФ
\yr 2022
\vol 92
\issue 8
\pages 1172--1178
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/jtf7412}
\crossref{https://doi.org/10.21883/JTF.2022.08.52779.68-22}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=48645852}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf7412
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v92/i8/p1172
    • Эта публикация цитируется в следующих 1 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Журнал технической физики Журнал технической физики
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025