Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Журнал технической физики, 2022, том 92, выпуск 8, страницы 1199–1201
DOI: https://doi.org/10.21883/JTF.2022.08.52783.75-22
(Mi jtf7416)
 

XXVI Международный симпозиум " Нанофизика и наноэлектроника" , Н. Новгород, 14-17 марта 2022 г.
Фотоника

Тонкопленочные Al-мишени для лазерно-плазменного источника экстремального ультрафиолетового излучения

С. А. Гарахин, А. Я. Лопатин, А. Н. Нечай, А. А. Перекалов, А. Е. Пестов, Н. Н. Салащенко, Н. Н. Цыбин, Н. И. Чхало

Институт физики микроструктур РАН, 603087 Нижний Новгород, Россия
Аннотация: При помощи зеркального спектрометра экстремального ультрафиолетового (ЭУФ) диапазона исследованы спектры излучения массивного алюминия в интервале длин волн 8.0–18.0 nm при лазерном возбуждении. Проведено тестирование тонкопленочных лазерных мишеней из алюминия и сравнительные измерения интенсивности ЭУФ излучения пленки толщиной 100 nm и мишени из массивного материала.
Ключевые слова: МР, экстремальное ультрафиолетовое излучение, тонкие пленки, лазерная плазма.
Финансовая поддержка Номер гранта
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации 075-15-2021-1361
Работа выполнена при финансовой поддержке Министерства науки и высшего образования Российской Федерации (соглашение № 075-15-2021-1361).
Поступила в редакцию: 04.04.2022
Исправленный вариант: 04.04.2022
Принята в печать: 04.04.2022
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: С. А. Гарахин, А. Я. Лопатин, А. Н. Нечай, А. А. Перекалов, А. Е. Пестов, Н. Н. Салащенко, Н. Н. Цыбин, Н. И. Чхало, “Тонкопленочные Al-мишени для лазерно-плазменного источника экстремального ультрафиолетового излучения”, ЖТФ, 92:8 (2022), 1199–1201
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{GarLopNec22}
\by С.~А.~Гарахин, А.~Я.~Лопатин, А.~Н.~Нечай, А.~А.~Перекалов, А.~Е.~Пестов, Н.~Н.~Салащенко, Н.~Н.~Цыбин, Н.~И.~Чхало
\paper Тонкопленочные Al-мишени для лазерно-плазменного источника экстремального ультрафиолетового излучения
\jour ЖТФ
\yr 2022
\vol 92
\issue 8
\pages 1199--1201
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/jtf7416}
\crossref{https://doi.org/10.21883/JTF.2022.08.52783.75-22}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=48645856}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf7416
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v92/i8/p1199
  • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    Журнал технической физики Журнал технической физики
     
      Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025