Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Журнал технической физики, 2022, том 92, выпуск 8, страницы 1207–1212
DOI: https://doi.org/10.21883/JTF.2022.08.52785.102-22 (Mi jtf7418) 		 
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)

XXVI Международный симпозиум " Нанофизика и наноэлектроника" , Н. Новгород, 14-17 марта 2022 г.
Фотоника

Перспективные длины волн для проекционной литографии с использованием синхротронного излучения

Н. И. Чхало, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, Р. А. Шапошников

Институт физики микроструктур РАН, 607680 Нижний Новгород, Россия
PDF полного текста (322 kB) Список цитирования (1)
DOI: https://doi.org/10.21883/JTF.2022.08.52785.102-22
Аннотация: Обсуждены перспективные длины волн для литографии следующего поколения на базе синхротронного источника рентгеновского излучения. Приведены теоретические и экспериментальные значения коэффициентов отражения многослойных рентгеновских зеркал, обеспечивающих максимальную отражательную способность в диапазоне 11.4–3.1 nm. Проведено сравнение теоретической эффективности многослойной оптики для различных длин волн.
Ключевые слова: рентгеновская литография, многослойная рентгеновская оптика, многослойные рентгеновские зеркала.
Финансовая поддержка Номер гранта
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации 075-15-2021-1350
Работа выполнена при финансовой поддержке Российской Федерации в лице Министерства науки и высшего образования, соглашение № 075-15-2021-1350 от 5 октября 2021 г. (внутренний номер 15.СИН.21.0004).
Поступила в редакцию: 26.04.2022
Исправленный вариант: 26.04.2022
Принята в печать: 26.04.2022
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: Н. И. Чхало, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, Р. А. Шапошников, “Перспективные длины волн для проекционной литографии с использованием синхротронного излучения”, ЖТФ, 92:8 (2022), 1207–1212
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{ChkPolSal22}
\by Н.~И.~Чхало, В.~Н.~Полковников, Н.~Н.~Салащенко, Р.~А.~Шапошников
\paper Перспективные длины волн для проекционной литографии с использованием синхротронного излучения
\jour ЖТФ
\yr 2022
\vol 92
\issue 8
\pages 1207--1212
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/jtf7418}
\crossref{https://doi.org/10.21883/JTF.2022.08.52785.102-22}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=48645858}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf7418
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v92/i8/p1207
    • Эта публикация цитируется в следующих 1 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Журнал технической физики Журнал технической физики
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025