Изучение влияния энергии ионов аргона на шероховатость поверхности основных срезов монокристаллического кремния

Приведены результаты изучения энергетических зависимостей коэффициента распыления и значения эффективной шероховатости поверхности монокристаллического кремния при облучении ионами аргона с энергией 200–1000 eV. В результате работы были определены параметры ионно-пучкового травления ускоренными ионами Ar, обеспечивающие высокий коэффициент распыления (скорость травления) и значение эффективной шероховатости в диапазоне пространственных частот 4.9$\cdot$10$^{-2}$–6.3$\cdot$10$^1$ $\mu$m$^{-1}$ менее 0.3 nm для основных срезов монокристаллического кремния $\langle$100$\rangle$, $\langle$110$\rangle$ и $\langle$111$\rangle$.