Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Журнал технической физики, 2022, том 92, выпуск 12, страницы 1943–1950
DOI: https://doi.org/10.21883/jtf.2022.12.53761.141-22 (Mi jtf7505) 		 
Эта публикация цитируется в 2 научных статьях (всего в 2 статьях)

Физическая электроника

Преимущественное распыление при облучении сплавов газовыми кластерными ионами

В. С. Чернышa, А. Е. Иешкинa, Д. С. Киреевa, Д. К. Миннебаевa, Е. А. Скрылеваb, Б. Р. Сенатулинb

a Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова, 119991 Москва, Россия
b Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС", 119049 Москва, Россия
PDF полного текста (540 kB) Список цитирования (2)
DOI: https://doi.org/10.21883/jtf.2022.12.53761.141-22
Аннотация: Исследованы топография и состав поверхности сплавов на основе никеля при облучении кластерными ионами Ar$_{2500}^+$ с энергией 20 keV и атомарными ионами Ar$^+$ с энергией 3 keV. Экспериментально обнаружено обеднение поверхности сплавов компонентом с меньшей энергией связи. Показано, что изменение поверхностных концентраций компонентов сплавов при облучении кластерными ионами на порядок больше, чем при распылении атомарными ионами. Степень изменения состава поверхности определена соотношением коэффициентов распыления компонентов сплава.
Ключевые слова: газовые кластерные ионы, ионное распыление, рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия, преимущественное распыление, топография поверхности.
Финансовая поддержка Номер гранта
Российский научный фонд 21-19-00310
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации 075-15-2021-696
Работа выполнена при поддержке Российского Научного Фонда, проект № 21-19-00310, https://rscf.ru/en/project/21-19-00310/. При выполнении работы было использовано оборудование Центра коллективного пользования МИСиС “Материаловедение и металлургия” (проект № 075-15-2021-696).
Поступила в редакцию: 19.05.2022
Исправленный вариант: 25.06.2022
Принята в печать: 18.08.2022
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: В. С. Черныш, А. Е. Иешкин, Д. С. Киреев, Д. К. Миннебаев, Е. А. Скрылева, Б. Р. Сенатулин, “Преимущественное распыление при облучении сплавов газовыми кластерными ионами”, ЖТФ, 92:12 (2022), 1943–1950
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{CheIesKir22}
\by В.~С.~Черныш, А.~Е.~Иешкин, Д.~С.~Киреев, Д.~К.~Миннебаев, Е.~А.~Скрылева, Б.~Р.~Сенатулин
\paper Преимущественное распыление при облучении сплавов газовыми кластерными ионами
\jour ЖТФ
\yr 2022
\vol 92
\issue 12
\pages 1943--1950
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/jtf7505}
\crossref{https://doi.org/10.21883/jtf.2022.12.53761.141-22}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=49959379}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf7505
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v92/i12/p1943
    • Эта публикация цитируется в следующих 2 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Журнал технической физики Журнал технической физики
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:54
    PDF полного текста:37
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2026