Влияние ионного и кислотного травления на структурные и магниторезонансные характеристики эпитаксиальных пленок феррит-гранатов

Представлены экспериментальные результаты исследования влияния постростовой обработки тонких монокристаллических пленок катион-замещенных феррит-гранатов на их структурные и магнитные характеристики. Показано, что кислотное травление поверхности монокристаллических гранатов, как правило, уступает в качестве обработки поверхности методу ионно-плазменного травления. При исследовании морфологии поверхностного слоя и спектров ферромагнитного резонанса в эпитаксиальной пленке феррит-граната показало, что использование в качестве травителя ортофосфорной кислоты привело к уменьшению шероховатости поверхности, однако не обеспечило качественного сохранения магнитных характеристик по сравнению с ионно-плазменным методом обработки, который не ухудшил структуру и не разрушил кристаллическую решетку феррит-гранатов.