Влияние режимов магнетронного распыления на свойства защитных покрытий Ti–Al–Ta–N

Проведен сравнительный анализ покрытий Ti–Al–Ta–N, полученных с использованием методов сильноточного импульсного магнетронного распыления и магнетронного распыления при постоянном токе. Показано, что использование комбинированного режима напыления позволило существенно увеличить скорость осаждения. Исследовано влияние режимов осаждения и многослойной архитектуры данных покрытий на их механические и трибологические характеристики, а также стойкость к окислению. Установлено, что оптимизация архитектуры многослойных покрытий Ti–Al–Ta–N позволяет повысить их твердость и износостойкость. При этом ее изменение практически не влияет на стойкость данных покрытий к окислению.