Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Журнал технической физики, 2015, том 85, выпуск 2, страницы 107–111 (Mi jtf7692)  
Эта публикация цитируется в 17 научных статьях (всего в 17 статьях)

Физика низкоразмерных структур

Термоокислительная деструкция пленок молибдена при лазерной абляции

А. В. Волковab, Н. Л. Казанскийab, О. Ю. Моисеевa, С. Д. Полетаевab

a Институт систем обработки изображений РАН, 443001 Самара, Россия
b Самарский государственный аэрокосмический университет имени академика С. П. Королёва, 443086 Самара, Россия
PDF полного текста (162 kB) Список цитирования (17)
Аннотация: Обсуждены проблемы лазерной абляции пленок молибдена, имеющие место при формировании топологического рисунка контактных масок. Описан механизм термоокислительной деструкции тонких пленок молибдена при воздействии лазерного излучения с повышенной плотностью мощности. Представлены результаты теоретических выкладок в сопоставлении с практическими данными о химическом составе оксида молибдена, полученными методом комбинационного рассеяния.
Поступила в редакцию: 30.04.2014
Англоязычная версия:
Technical Physics, 2015, Volume 60, Issue 2, Pages 265–269
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063784215020255
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: А. В. Волков, Н. Л. Казанский, О. Ю. Моисеев, С. Д. Полетаев, “Термоокислительная деструкция пленок молибдена при лазерной абляции”, ЖТФ, 85:2 (2015), 107–111; Tech. Phys., 60:2 (2015), 265–269
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{VolKazMoi15}
\by А.~В.~Волков, Н.~Л.~Казанский, О.~Ю.~Моисеев, С.~Д.~Полетаев
\paper Термоокислительная деструкция пленок молибдена при лазерной абляции
\jour ЖТФ
\yr 2015
\vol 85
\issue 2
\pages 107--111
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/jtf7692}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=24195998}
\transl
\jour Tech. Phys.
\yr 2015
\vol 60
\issue 2
\pages 265--269
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063784215020255}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf7692
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v85/i2/p107
    • Эта публикация цитируется в следующих 17 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Журнал технической физики Журнал технической физики
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025