Исследование состава неконтролируемых примесей, их химических состояний и профиля распределения на границе рездела Al–Si

Методом оже-электронной спектроскопии и вторичной ионной масс-спектроскопии были исследованы композиции атомов неконтролируемых примесей и их химический состав, а также профили распределения атомов на границе Al–Si. В Al обнаружены примесные атомы C, O, N, Ti, Fe и др. в низких концентрациях ($<$ 0.1%). Анализ химических сдвигов оже-пиков атомов металлов показал, что на границе системы Аl–Si формируются соединения типа АlO и Al$_2$O$_3$.