Моделирование процесса формирования оксидных наноразмерных структур методом локального анодного окисления поверхности металла

Представлена комплексная модель локального анодного окисления металлов, которая учитывает процессы, происходящие в системе зонд-подложка: в атмосфере сухого воздуха, в парах воды и в пленке воды, адсорбированной на поверхности подложки. Показано, что процесс локального анодного окисления происходит за счет генерации ионов кислорода в результате разложения молекул воды в электрическом поле, при этом доминирующим источником окислителя является пленка адсорбированной на поверхности подложки воды. Результаты численного моделирования процесса локального анодного окисления титана показывают хорошую корреляцию с экспериментальными зависимостями высоты оксидных наноразмерных структур от длительности локального анодного окисления, что подтверждает эффективность разработанной модели. Полученные результаты могут быть использованы при разработке технологических процессов формирования элементов наноэлектроники методом локального анодного окисления.