Определение удельного сопротивления вертикально ориентированных углеродных нанотрубок методами сканирующей зондовой микроскопии

Представлены результаты разработки методик определения удельного и погонного сопротивлений вертикально ориентированных углеродных нанотрубок (ВОУНТ) с использованием методов атомно-силовой микроскопии (АСМ) и сканирующей туннельной микроскопии (СТМ). Представлены результаты экспериментальных исследований сопротивления ВОУНТ на основе разработанных методик. Показано, что значения сопротивления индивидуальной ВОУНТ, рассчитанные с использованием методики на основе метода АСМ, более чем в 200 раз превышают сопротивления ВОУНТ, полученные на основе метода СТМ, что связано с влиянием сопротивления контакта зонда АСМ к ВОУНТ. Погонное и удельное сопротивления индивидуальных ВОУНТ с диаметром 118 $\pm$ 39 nm и высотой 2.23 $\pm$ 0.37 $\mu$m, определенные на основе разработанной методики с использованием метода СТМ, составили 19.28 $\pm$ 3.08 k$\Omega$/$\mu$m и 8.32 $\pm$ 3.18 $\cdot$ 10$^{-4}$ $\Omega$m соответственно. Разработанная методика определения удельного и погонного сопротивлений ВОУНТ на основе метода СТМ может быть использована для диагностики электрических параметров ВОУНТ, а также при создании элементов наноэлектроники на основе ВОУНТ.