|
|
Журнал технической физики, 2015, том 85, выпуск 8, страницы 116–123
(Mi jtf7862)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 2 научных статьях (всего в 2 статьях)
Оптика
Волноводная спектроскопия двухслойных структур
А. Б. Сотскийa, L. M. Steingartb, J. H. Jacksonb, С. О. Парашковa, И. С. Дзенa, Л. И. Сотскаяc a Могилевский государственный университет им. А. А. Кулешова, 212022 Могилев, Белоруссия
b Metricon Corporation, 08534 Pennington, New Jersey, USA
c Белорусско-Российский университет,
212005 Могилев, Белоруссия
Аннотация:
Предложен метод наименьших квадратов для восстановления оптических параметров двухслойных структур, в котором целевая функция строится с использованием экспериментальных и расчетных данных для отражательной способности призмы связи. Выполнены исследования структуры, состоящей из двух различных пленок оксинитрида кремния, нанесенных на кремниевую подложку. Оценено влияние рассеяния света на решение обратной задачи.
Поступила в редакцию: 14.11.2014
Образец цитирования:
А. Б. Сотский, L. M. Steingart, J. H. Jackson, С. О. Парашков, И. С. Дзен, Л. И. Сотская, “Волноводная спектроскопия двухслойных структур”, ЖТФ, 85:8 (2015), 116–123; Tech. Phys., 60:8 (2015), 1220–1226
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jtf7862 https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v85/i8/p116
|
|