Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Журнал технической физики, 2015, том 85, выпуск 9, страницы 120–127 (Mi jtf7888)  

Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)

Физическая электроника

Роль эффекта перераспределения электрического поля в изменении характеристик открытых “сандвич”-структур металл–диэлектрик–металл под воздействием влаги

В. М. Мордвинцев, В. Л. Левин, С. Е. Кудрявцев, Л. А. Цветкова

Ярославский филиал Федерального государственного бюджетного учреждения науки Физико-технологического института РАН, 150007 Ярославль, Россия
Аннотация: Приведены результаты численного моделирования эффекта перераспределения электрического поля в изолирующей щели открытой “сандвич”-структуры металл–диэлектрик–металл TiN–SiO$_2$–W при образовании на свободном торце диэлектрической пленки слоя с повышенной диэлектрической проницаемостью из-за поглощения влаги пористым диоксидом кремния, полученным плазмохимическим осаждением. Показано, что эффектом перераспределения электрического поля можно объяснить все наблюдающиеся экспериментально изменения электрических характеристик, вызванные воздействием влаги.
Поступила в редакцию: 20.11.2014
Англоязычная версия:
Technical Physics, 2015, Volume 60, Issue 9, Pages 1376–1383
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063784215090133
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: В. М. Мордвинцев, В. Л. Левин, С. Е. Кудрявцев, Л. А. Цветкова, “Роль эффекта перераспределения электрического поля в изменении характеристик открытых “сандвич”-структур металл–диэлектрик–металл под воздействием влаги”, ЖТФ, 85:9 (2015), 120–127; Tech. Phys., 60:9 (2015), 1376–1383
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{MorLevKud15}
\by В.~М.~Мордвинцев, В.~Л.~Левин, С.~Е.~Кудрявцев, Л.~А.~Цветкова
\paper Роль эффекта перераспределения электрического поля в изменении характеристик открытых ``сандвич''-структур металл--диэлектрик--металл под воздействием влаги
\jour ЖТФ
\yr 2015
\vol 85
\issue 9
\pages 120--127
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/jtf7888}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=24196196}
\transl
\jour Tech. Phys.
\yr 2015
\vol 60
\issue 9
\pages 1376--1383
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063784215090133}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf7888
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v85/i9/p120
  • Эта публикация цитируется в следующих 1 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    Журнал технической физики Журнал технической физики
     
      Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025