|
|
Журнал технической физики, 2015, том 85, выпуск 9, страницы 120–127
(Mi jtf7888)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)
Физическая электроника
Роль эффекта перераспределения электрического поля в изменении характеристик открытых “сандвич”-структур металл–диэлектрик–металл под воздействием влаги
В. М. Мордвинцев, В. Л. Левин, С. Е. Кудрявцев, Л. А. Цветкова Ярославский филиал Федерального государственного бюджетного учреждения науки Физико-технологического института РАН, 150007 Ярославль, Россия
Аннотация:
Приведены результаты численного моделирования эффекта перераспределения электрического поля в изолирующей щели открытой “сандвич”-структуры металл–диэлектрик–металл TiN–SiO$_2$–W при образовании на свободном торце диэлектрической пленки слоя с повышенной диэлектрической проницаемостью из-за поглощения влаги пористым диоксидом кремния, полученным плазмохимическим осаждением. Показано, что эффектом перераспределения электрического поля можно объяснить все наблюдающиеся экспериментально изменения электрических характеристик, вызванные воздействием влаги.
Поступила в редакцию: 20.11.2014
Образец цитирования:
В. М. Мордвинцев, В. Л. Левин, С. Е. Кудрявцев, Л. А. Цветкова, “Роль эффекта перераспределения электрического поля в изменении характеристик открытых “сандвич”-структур металл–диэлектрик–металл под воздействием влаги”, ЖТФ, 85:9 (2015), 120–127; Tech. Phys., 60:9 (2015), 1376–1383
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jtf7888 https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v85/i9/p120
|
|