Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Журнал технической физики, 2015, том 85, выпуск 10, страницы 101–104 (Mi jtf7912)  
Эта публикация цитируется в 6 научных статьях (всего в 6 статьях)

Физика низкоразмерных структур

Определение толщин ультратонких поверхностных пленок в наноструктурах по энергетическим спектрам отраженных электронов

С. Ю. Купреенкоa, Н. А. Орликовскийb, Э. И. Рауa, А. М. Тагаченковc, А. А. Татаринцевb

a Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова, 119991 Москва, Россия
b Физико-технологический институт РАН, 117218 Москва, Россия
c Институт нанотехнологий микроэлектроники РАН, Москва, Россия
PDF полного текста (416 kB) Список цитирования (6)
Аннотация: Рассмотрен новый метод определения толщин оптически непрозрачных пленок на массивных подложках в нанометровом диапазоне размеров. Метод базируется на анализе и измерении энергетических спектров обратно-рассеянных электронов. Толщины локальных пленочных наноструктур определяются по амплитудным значениям спектров и по их сдвигу на энергетической оси.
Поступила в редакцию: 19.02.2015
Англоязычная версия:
Technical Physics, 2015, Volume 60, Issue 10, Pages 1515–1518
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063784215100205
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: С. Ю. Купреенко, Н. А. Орликовский, Э. И. Рау, А. М. Тагаченков, А. А. Татаринцев, “Определение толщин ультратонких поверхностных пленок в наноструктурах по энергетическим спектрам отраженных электронов”, ЖТФ, 85:10 (2015), 101–104; Tech. Phys., 60:10 (2015), 1515–1518
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{KupOrlRau15}
\by С.~Ю.~Купреенко, Н.~А.~Орликовский, Э.~И.~Рау, А.~М.~Тагаченков, А.~А.~Татаринцев
\paper Определение толщин ультратонких поверхностных пленок в наноструктурах по энергетическим спектрам отраженных электронов
\jour ЖТФ
\yr 2015
\vol 85
\issue 10
\pages 101--104
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/jtf7912}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=24196220}
\transl
\jour Tech. Phys.
\yr 2015
\vol 60
\issue 10
\pages 1515--1518
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063784215100205}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf7912
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v85/i10/p101
    • Эта публикация цитируется в следующих 6 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Журнал технической физики Журнал технической физики
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025