Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Журнал технической физики, 2015, том 85, выпуск 10, страницы 145–147 (Mi jtf7921)  
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)

Краткие сообщения

Метод контроля оптических характеристик тонких прозрачных пленок с использованием угловой оптической рефлектометрии

И. М. Алиевa, С. П. Зинченкоb, А. П. Ковтунb, Г. Н. Толмачевb, А. В. Павленкоab

a Научно-исследовательский институт физики Южного федерального университета, 344090 Ростов-на-Дону, Россия
b Южный научный центр РАН, 344006 Ростов-на-Дону, Россия
PDF полного текста (127 kB) Список цитирования (1)
Аннотация: Предложен способ определения толщины и показателя преломления материала пленок на оптически однородной подложке, основанный на исследовании угловой зависимости интенсивности отраженного от пленки зондирующего излучения $H$-поляризации. Анализ показал, что в семействе кривых отражения для прозрачных пленок различной толщины, но с одинаковым показателем преломления существует угол, при котором они пересекаются в одной точке (вырождаются) и тангенс этого угла равен коэффициенту преломления материала пленки. Возможность применения данного метода демонстрируется на примере исследования серии пленок BSN/MgO(001).
Поступила в редакцию: 28.11.2014
Принята в печать: 05.03.2015
Англоязычная версия:
Technical Physics, 2015, Volume 60, Issue 10, Pages 1560–1562
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063784215100035
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: И. М. Алиев, С. П. Зинченко, А. П. Ковтун, Г. Н. Толмачев, А. В. Павленко, “Метод контроля оптических характеристик тонких прозрачных пленок с использованием угловой оптической рефлектометрии”, ЖТФ, 85:10 (2015), 145–147; Tech. Phys., 60:10 (2015), 1560–1562
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{AliZinKov15}
\by И.~М.~Алиев, С.~П.~Зинченко, А.~П.~Ковтун, Г.~Н.~Толмачев, А.~В.~Павленко
\paper Метод контроля оптических характеристик тонких прозрачных пленок с использованием угловой оптической рефлектометрии
\jour ЖТФ
\yr 2015
\vol 85
\issue 10
\pages 145--147
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/jtf7921}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=24196229}
\transl
\jour Tech. Phys.
\yr 2015
\vol 60
\issue 10
\pages 1560--1562
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063784215100035}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf7921
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v85/i10/p145
    • Эта публикация цитируется в следующих 1 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Журнал технической физики Журнал технической физики
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025