Влияние состава газа-носителя на электрические и люминесцентные свойства пленок оксида цинка, полученных методом CVD

Исследованы электрические и люминесцентные свойства пленок оксида цинка, выращенных методом CVD на сапфировых подложках при использовании различных газов-носителей. Установлено, что использование в качестве газа-носителя водорода, кислорода и аммиака при выращивании пленок не приводит к существенному изменению дефектно-примесной структуры кристаллов. Только водород способен уменьшать концентрацию центров излучательной рекомбинации, ответственных за характерную для оксида цинка “зеленую” полосу люминесценции.