|
|
Журнал технической физики, 2014, том 84, выпуск 6, страницы 98–106
(Mi jtf8118)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 5 научных статьях (всего в 5 статьях)
Физика низкоразмерных структур
Оптические, структурные и фотокаталитические свойства наноразмерных пленок диоксида титана, осажденных в плазме магнетронного разряда
А. А. Гончаровa, А. Н. Добровольскийa, Е. Г. Костинb, И. С. Петрикc, Е. К. Фроловаa a Институт физики НАН Украины, 03680 Киев, Украина
b Институт ядерных исследований НАН Украины, 03680 Киев, Украина
c Институт химии поверхности им. А. А. Чуйко НАН Украины, 03164 Киев, Украина
Аннотация:
Найдены и описаны условия оптимального и контролируемого осаждения нанослоев диоксида титана в плазме цилиндрического газового разряда магнетронного типа специальной конструкции. Характеризация полученных пленок методом рамановской спектроскопии позволила определить режимы осаждения аморфной и поликристаллической фаз диоксида титана. Пленки, синтезированные путем осаждения на холодную подложку, находятся в аморфной фазе, а на подогретую – в фазе поликристаллического анатаза. Установлены особенности в эволюции спектральных линий излучения аргона, кислорода, титана и падения разрядного напряжения от величины и направления изменения тока разряда. Показана применимость полученных результатов для бесконтактного оптического мониторинга. Характеризация пленок показывает существование нелинейной зависимости показателя преломления от толщины слоя и возможность получения слоев с высокой фотокаталитической активностью, пригодных для очистки окружающей среды от неорганических загрязнителей.
Поступила в редакцию: 27.08.2012 Принята в печать: 06.06.2013
Образец цитирования:
А. А. Гончаров, А. Н. Добровольский, Е. Г. Костин, И. С. Петрик, Е. К. Фролова, “Оптические, структурные и фотокаталитические свойства наноразмерных пленок диоксида титана, осажденных в плазме магнетронного разряда”, ЖТФ, 84:6 (2014), 98–106; Tech. Phys., 59:6 (2014), 884–891
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jtf8118 https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v84/i6/p98
|
|