|
|
Журнал технической физики, 2014, том 84, выпуск 6, страницы 114–118
(Mi jtf8120)
|
|
|
|
Оптика
Интерферометрия, объединяющая процедуры измерения и контроля клиновидности прозрачных пластин
А. М. Ляликов Гродненский государственный университет им. Я. Купалы, 230023 Гродно, Белоруссия
Аннотация:
Предложены различные варианты и схемы реализации интерференционного метода, позволяющего объединить процедуры измерения и контроля параметров фазовых объектов, для случая измерительного контроля прозрачных клиновидных пластин. Приведены результаты экспериментального опробования предложенных вариантов реализации измерительного контроля для стеклянных клиновидных пластин.
Поступила в редакцию: 09.08.2013
Образец цитирования:
А. М. Ляликов, “Интерферометрия, объединяющая процедуры измерения и контроля клиновидности прозрачных пластин”, ЖТФ, 84:6 (2014), 114–118; Tech. Phys., 59:6 (2014), 899–903
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jtf8120 https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v84/i6/p114
|
|