|
|
Журнал технической физики, 2014, том 84, выпуск 7, страницы 62–66
(Mi jtf8138)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)
Физическое материаловедение
Способ формирования графеновых пленок
Э. А. Ильичев, Е. П. Кириленко, Г. Н. Петрухин, Г. С. Рычков, О. А. Сахаров, З. М. Хамдохов, Э. З. Хамдохов, Е. С. Чернявская, М. Л. Шупегин, А. А. Щекин Государственный научно-исследовательский институт физических проблем имени Ф. В. Лукина, 124460 Зеленоград, Москва, Россия
Аннотация:
В настоящей статье предлагается и исследуется метод формирования графеновых пленок посредством термодиффузии атомов углерода из аморфной углеродной либо кремний-углеродной пленок наноразмерной толщины сквозь пленку катализатора, их накопления на границе раздела каталитический слой/барьерный слой с последующей организацией фазового перехода углеродная “квазижидкость” –графен. Одним из преимуществ такого способа изготовления пленок графена является возможность их формирования непосредственно на диэлектрическом слое и последующего вывешивания ее с помощью мембранных технологий над поверхностью подложки, что исключает необходимость в использовании сложных процедур отделения графеновой пленки от подложки.
Поступила в редакцию: 04.07.2013
Образец цитирования:
Э. А. Ильичев, Е. П. Кириленко, Г. Н. Петрухин, Г. С. Рычков, О. А. Сахаров, З. М. Хамдохов, Э. З. Хамдохов, Е. С. Чернявская, М. Л. Шупегин, А. А. Щекин, “Способ формирования графеновых пленок”, ЖТФ, 84:7 (2014), 62–66; Tech. Phys., 59:7 (2014), 1007–1011
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jtf8138 https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v84/i7/p62
|
|