Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Журнал технической физики, 2014, том 84, выпуск 10, страницы 34–38 (Mi jtf8217)  
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)

Плазма

Скорость травления кремния локализованным газовым разрядом

А. В. Абрамов, Е. А. Панкратова, И. С. Суровцев

Воронежский государственный архитектурно-строительный университет, 394006 Воронеж, Россия
PDF полного текста (225 kB) Список цитирования (1)
Аннотация: Представлены результаты исследований влияния на скорость травления кремния различных технологических, конструктивных и электрофизических параметров, характеризующих условия горения и свойства локализованного газового разряда. Эксперименты проводились при давлении газа 10$^4$–10$^5$ Pa и длине разрядного промежутка 50–500 $\mu$m. Показана эффективность применения метода эмиссионной спектроскопии для контроля момента начала и завершения травления слоев различных материалов локализованным газовым разрядом.
Поступила в редакцию: 19.12.2013
Англоязычная версия:
Technical Physics, 2014, Volume 59, Issue 10, Pages 1452–1456
DOI: https://doi.org/10.1134/S106378421410003X
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: А. В. Абрамов, Е. А. Панкратова, И. С. Суровцев, “Скорость травления кремния локализованным газовым разрядом”, ЖТФ, 84:10 (2014), 34–38; Tech. Phys., 59:10 (2014), 1452–1456
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{AbrPanSur14}
\by А.~В.~Абрамов, Е.~А.~Панкратова, И.~С.~Суровцев
\paper Скорость травления кремния локализованным газовым разрядом
\jour ЖТФ
\yr 2014
\vol 84
\issue 10
\pages 34--38
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/jtf8217}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=22019448}
\transl
\jour Tech. Phys.
\yr 2014
\vol 59
\issue 10
\pages 1452--1456
\crossref{https://doi.org/10.1134/S106378421410003X}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf8217
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v84/i10/p34
    • Эта публикация цитируется в следующих 1 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Журнал технической физики Журнал технической физики
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025