Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Журнал технической физики, 2014, том 84, выпуск 10, страницы 127–132 (Mi jtf8235)  
Эта публикация цитируется в 8 научных статьях (всего в 8 статьях)

Физическая электроника

Магнетронное напыление прозрачных электродов ITO из металлической мишени на холодную подложку

Л. П. Амосова, М. В. Исаев

Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики, 197101 Санкт-Петербург, Россия
PDF полного текста (278 kB) Список цитирования (8)
Аннотация: Магнетронным напылением из металлической мишени на холодную подложку без ионной стимуляции процесса и без последующего отжига получены слои ITO с поверхностным сопротивлением 50 $\Omega/\Box$ и пропусканием в видимой области спектра до 100%. Показано, что указанные параметры слоев могут быть достигнуты в достаточно широком диапазоне парциального давления кислорода регулировкой скорости напыления и в достаточно большом диапазоне скоростей напыления регулировкой давления кислорода. Построена универсальная взаимно однозначная зависимость скорости напыления от парциального давления кислорода.
Поступила в редакцию: 06.02.2014
Англоязычная версия:
Technical Physics, 2014, Volume 59, Issue 10, Pages 1545–1549
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063784214100053
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: Л. П. Амосова, М. В. Исаев, “Магнетронное напыление прозрачных электродов ITO из металлической мишени на холодную подложку”, ЖТФ, 84:10 (2014), 127–132; Tech. Phys., 59:10 (2014), 1545–1549
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{AmoIsa14}
\by Л.~П.~Амосова, М.~В.~Исаев
\paper Магнетронное напыление прозрачных электродов ITO из металлической мишени на холодную подложку
\jour ЖТФ
\yr 2014
\vol 84
\issue 10
\pages 127--132
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/jtf8235}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=22019466}
\transl
\jour Tech. Phys.
\yr 2014
\vol 59
\issue 10
\pages 1545--1549
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063784214100053}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf8235
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v84/i10/p127
    • Эта публикация цитируется в следующих 8 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Журнал технической физики Журнал технической физики
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025