|
|
Журнал технической физики, 2014, том 84, выпуск 12, страницы 73–76
(Mi jtf8282)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 8 научных статьях (всего в 8 статьях)
Твердое тело
Твердые углеродные покрытия, наносимые методом импульсного сильноточного магнетронного распыления
К. В. Оскомов, А. А. Соловьев, С. В. Работкин Институт сильноточной электроники СО РАН, 634055 Томск, Россия
Аннотация:
Твердые (до 17 GPa) углеродные покрытия наносились на торцевые SiC-подшипники, используемые в жидкостных насосах, методом импульсного сильноточного магнетронного распыления графита. За счет этого удалось уменьшить коэффициент трения с 0.43 до 0.11 и скорость износа с 26 до 0.307 $\mu$m$^3$N$^{-1}$m$^{-1}$, что увеличило срок службы подшипников примерно в 3 раза. Причиной осаждения твердых и износостойких углеродных покрытий является генерация плотной (до 10$^{13}$ cm$^{-3}$) плазмы.
Поступила в редакцию: 13.03.2014
Образец цитирования:
К. В. Оскомов, А. А. Соловьев, С. В. Работкин, “Твердые углеродные покрытия, наносимые методом импульсного сильноточного магнетронного распыления”, ЖТФ, 84:12 (2014), 73–76; Tech. Phys., 59:12 (2014), 1811–1814
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jtf8282 https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v84/i12/p73
|
|