Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Журнал технической физики, 2013, том 83, выпуск 1, страницы 99–104 (Mi jtf8333)  
Эта публикация цитируется в 4 научных статьях (всего в 4 статьях)

Физическое материаловедение

Наносекундный импульсный отжиг кремния, имплантированного ионами магния

Н. Г. Галкинab, С. В. Вавановаa, К. Н. Галкинa, Р. И. Баталовc, Р. М. Баязитовc, В. И. Нуждинc

a Институт автоматики и процессов управления ДВО РАН, г. Владивосток
b Дальневосточный федеральный университет, 690900 Владивосток, Россия
c Казанский физико-технический институт им. Е. К. Завойского, КазНЦ РАН
PDF полного текста (2768 kB) Список цитирования (4)
Аннотация: Проведена имплантация ионов магния в монокристаллический кремний при комнатной температуре с последующим импульсным ионным отжигом. Изучены морфология поверхности, кристалличность и оптические свойства имплантированного кремния до и после импульсного отжига. Показано, что в результате ионной имплантации приповерхностная область кремния (до $\sim$ 0.1 $\mu$) становится аморфной. Наносекундный импульсный ионный отжиг приводит к рекристаллизации кремния и формированию кристаллических преципитатов силицида магния. Определены оптимальные условия (доза имплантации и плотность энергии импульса) для формирования преципитатов силицида магния в приповерхностном слое кремния.
Поступила в редакцию: 25.01.2012
Англоязычная версия:
Technical Physics, 2013, Volume 58, Issue 1, Pages 94–99
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063784213010064
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: Н. Г. Галкин, С. В. Ваванова, К. Н. Галкин, Р. И. Баталов, Р. М. Баязитов, В. И. Нуждин, “Наносекундный импульсный отжиг кремния, имплантированного ионами магния”, ЖТФ, 83:1 (2013), 99–104; Tech. Phys., 58:1 (2013), 94–99
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{GalChuGal13}
\by Н.~Г.~Галкин, С.~В.~Ваванова, К.~Н.~Галкин, Р.~И.~Баталов, Р.~М.~Баязитов, В.~И.~Нуждин
\paper Наносекундный импульсный отжиг кремния, имплантированного ионами магния
\jour ЖТФ
\yr 2013
\vol 83
\issue 1
\pages 99--104
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/jtf8333}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=20325781}
\transl
\jour Tech. Phys.
\yr 2013
\vol 58
\issue 1
\pages 94--99
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063784213010064}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf8333
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v83/i1/p99
    • Эта публикация цитируется в следующих 4 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Журнал технической физики Журнал технической физики
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025