Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Журнал технической физики, 2013, том 83, выпуск 6, страницы 66–70 (Mi jtf8458)  

Эта публикация цитируется в 17 научных статьях (всего в 17 статьях)

Физическая электроника

Электронная спектроскопия наноструктур, созданных в поверхностных слоях Si, GaAs и CaF$_2$ методом низкоэнергетической ионной имплантации

Б. Е. Умирзаков, Д. А. Ташмухамедова, Д. М. Муродкабилов, Х. Х. Болтаев

Ташкентский государственный технический университет, 100095 Ташкент, Узбекистан
Аннотация: Приводится обзор экспериментальных результатов исследований поверхностных слоев Si, GaAs, CaF$_2$, созданных методом низкоэнергетической ионной имплантации. Исследования проведены методами фото- и оже-электронной спектроскопии и микроскопии.
Поступила в редакцию: 31.10.2012
Англоязычная версия:
Technical Physics, 2013, Volume 58, Issue 6
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063784213060261
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: Б. Е. Умирзаков, Д. А. Ташмухамедова, Д. М. Муродкабилов, Х. Х. Болтаев, “Электронная спектроскопия наноструктур, созданных в поверхностных слоях Si, GaAs и CaF$_2$ методом низкоэнергетической ионной имплантации”, ЖТФ, 83:6 (2013), 66–70
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{UmiTasMur13}
\by Б.~Е.~Умирзаков, Д.~А.~Ташмухамедова, Д.~М.~Муродкабилов, Х.~Х.~Болтаев
\paper Электронная спектроскопия наноструктур, созданных в поверхностных слоях Si, GaAs и CaF$_2$ методом низкоэнергетической ионной имплантации
\jour ЖТФ
\yr 2013
\vol 83
\issue 6
\pages 66--70
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/jtf8458}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=20325906}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf8458
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v83/i6/p66
  • Эта публикация цитируется в следующих 17 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    Журнал технической физики Журнал технической физики
     
      Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025