|
|
Журнал технической физики, 2013, том 83, выпуск 8, страницы 144–147
(Mi jtf8522)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 8 научных статьях (всего в 8 статьях)
Краткие сообщения
Нейтральные компоненты при азотировании в тлеющем разряде
И. М. Пастух Хмельницкий национальный университет
Аннотация:
Установлено, что при азотировании в тлеющем разряде в состав потока, бомбардирующего поверхность, входят быстрые нейтральные частицы, которые наряду с заряженными играют существенную роль в реализации процесса.
Поступила в редакцию: 23.10.2012
Образец цитирования:
И. М. Пастух, “Нейтральные компоненты при азотировании в тлеющем разряде”, ЖТФ, 83:8 (2013), 144–147; Tech. Phys., 58:8 (2013), 1228–1230
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jtf8522 https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v83/i8/p144
|
| Статистика просмотров: |
| Страница аннотации: | 13 | | PDF полного текста: | 7 |
|