Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Журнал технической физики, 2013, том 83, выпуск 11, страницы 92–99 (Mi jtf8619)  
Эта публикация цитируется в 2 научных статьях (всего в 2 статьях)

Оптика

Исследование оптических и структурных свойств оксидных пленок на InP методом спектральной эллипсометрии

В. А. Швецab, С. В. Рыхлицкийab, И. Я. Миттоваc, Е. В. Томинаc

a Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, г. Новосибирск
b Новосибирский государственный университет, 630090 Новосибирск, Россия
c Воронежский государственный университет
PDF полного текста (653 kB) Список цитирования (2)
Аннотация: Методом спектральной эллипсометрии исследованы оптические свойства оксидных пленок, выращенных на InP различными способами. Проанализированы методические подходы и приемы для интерпретации результатов эллипсометрических измерений. Показано, что пленки, полученные оксидированием структур с магнетронно нанесенным хемостимулятором, имеют слабое поглощение, нормальный ход дисперсии показателя преломления и резкие границы раздела. В отличие от этого для пленок, полученных оксидированием InP с активными центрами, созданными электровзрывом ванадиевой проволоки, или нанесением хемостимулятора из золя или геля, наблюдаются сильные полосы поглощения во всем спектральном диапазоне и значительное размытие оптических свойств в интерфейсной области. Установлены пределы применимости экспресс-диагностики толщины исследуемых пленок, основанной на измерениях с помощью лазерного одноволнового эллипсометра.
Поступила в редакцию: 22.06.2012
Англоязычная версия:
Technical Physics, 2013, Volume 58, Issue 11, Pages 1638–1645
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063784213110248
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: В. А. Швец, С. В. Рыхлицкий, И. Я. Миттова, Е. В. Томина, “Исследование оптических и структурных свойств оксидных пленок на InP методом спектральной эллипсометрии”, ЖТФ, 83:11 (2013), 92–99; Tech. Phys., 58:11 (2013), 1638–1645
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{ShvRykMit13}
\by В.~А.~Швец, С.~В.~Рыхлицкий, И.~Я.~Миттова, Е.~В.~Томина
\paper Исследование оптических и структурных свойств оксидных пленок на InP методом спектральной эллипсометрии
\jour ЖТФ
\yr 2013
\vol 83
\issue 11
\pages 92--99
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/jtf8619}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=20326045}
\transl
\jour Tech. Phys.
\yr 2013
\vol 58
\issue 11
\pages 1638--1645
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063784213110248}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf8619
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v83/i11/p92
    • Эта публикация цитируется в следующих 2 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Журнал технической физики Журнал технической физики
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025